基于MEMS技术的非接触式手持静电仪和静电安全自动检测门项目鉴定会4月21日在成都市三为技术有限责任公司召开，来自中国石油集团安全环保技术研究院、中国石油集团质量安全处、中国石油天然气西南公司、四川省防雷中心等单位专家组成的鉴定小组听取并审阅了研制单位中国科学院电子学研究所和成都市三为技术有限责任公司的研制报告，对产品进行了现场测试，一致同意MEMS非接触式手持静电仪和MEMS静电安全自动检测门项目通过成果鉴定，建议加快推进成果应用及产业化。

静电是引起油气火灾、军用电子元件失效等重大事故的关键因素之一。静电监测在航天发射、石油石化、工业生产、气象、集成电路等多个领域具有重要意义。传统静电防护措施只能消除静电或避免静电产生，无法对防护效果进行评估。目前已有的几种静电仪都包含外部可动结构，自身即有因机械碰撞、摩擦而起电的危险，无法在静电高危区域使用。

MEMS非接触式手持静电仪和MEMS静电安全自动检测门两个项目均为国际首创产品，其核心感应单元是中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室研制的高灵敏度MEMS电场敏感芯片，提出了两种产品的静电报警阈值计算方法，实现了两种产品的非接触式快速准确测量方案。鉴定组组长中石油安全环保技术研究院国家级专家娄仁杰主任指出，该成果为静电安全检测提供了新的技术手段，显著提升了静电探测的技术水平，在石油、石化、电子工业、炸药储存等领域具有广阔的应用前景。

MEMS电场敏感芯片由中国科学院电子学研究所夏善红研究员和彭春荣、杨鹏飞、闻小龙博士团队主研，该项目发明了旋转电极式、集成芯片式三维电场探测方法，填补了空中三维电场传感器的国际空白，分辨率等技术指标为同期国际最好水平。

目前，MEMS技术已经在航空航天、电网大气探测、智能电网雷电预警系统等多个高精尖领域应用，产生了显著的社会效益和经济效益。